从SEMICON Taiwan 2019展会上可发现，先进制程仍是半导体产业趋向的重点之一，特别在业界龙头台积电关于其先进制程规划与时程愈加明白的状况下，增加主要供给链厂商对纳米节点持续微缩的自信心，势必也将带来更多元的设备与资料需求；但是，连带关于设备与资料规格提升的需求，也考验供给链厂商在产品竞争力上的表现。

台积电7nm表现持续亮眼，持续添加开展先进制程的自信心

台积电在7nm的杰出成果为先进制程后续开展打下稳定根底，也让鳍片式(FinFET)构造晶体管能有更多应用。从台积电目前表现来看，7nm节点在技术与产能上的规划已超越2019年初时对量产产能的预估，除了既有的7nm增强版包括众多产品线外，7nm EUV产能受惠于客户的加量投片下，预估在2019年第四季能有1.5倍左右生长。

加上在6nm制程方面，由于6nm制程与现行7nm制程共享消费机台与流程，缩短不少开发时间，包括海思、Qualcomm、Broadcom、Apple、AMD及联发科等主要客户对行进6nm制程展示高度兴味，积极投入测试，置信原订2020年第一季风险试产的6nm规划将如期落实，因而预估整体7nm(包括7nm第一代、7nm第二代增强版、7nm EUV、6nm)产能在2020上半年前将持续扩产20～25%以上。

台积电下一阶段纳米节点微缩方案愈加明白，2nm时程有谱

在5nm制程方面，已建构出具牢靠性的前段制造流程架构，估计2019年第四季或将进入拉抬良率阶段，凭仗丰厚的数据库与制程调整经历快速提升新品良率，能大幅缩短产品学习曲线，因而在量产时程上目前仍处于业界抢先位置；再继续做纳米节点微缩，3nm开发目前还在「寻觅途径(Path-Finding)」阶段，且由于线宽间距极小，在漏电方面的问题难度提升，也催生晶体管构造改动的可能。

目前GAA(Gate-All-Around)是Samsung主要采用在3nm制程架构，藉由闸极全面包覆来增加与硅的接触面积，到达良好的漏电控制；而台积电目前除了GAA技术的研讨外，仍有在评价FinFET的最大应用限度，毕竟从7nm与5nm得到的珍贵经历中发现，FinFET的确还有持续的可能性，且由于晶体管构造一脉相成，在性能表现与牢靠度上或将比新的构造来得可控制，置信也能增加客户的采意图愿。

最后，在SEMICON Taiwan 2019论坛上，台积电也确认2nm的相关建厂与开发方案，以目前技术的研发时程推断， 芯片采购平台2nm呈现的时间点预估落在4年后，固然届时势必面临晶体管构造的改动与应战，但此举也为相关厂商带来纳米节点微缩仍具有获利的可能性与技术必需性，将持续推进半导体产业供给链开展。

先进制程为设备与资料供给商带来新应战，相关厂商积极推出处理计划

先进制程面临的应战不只在制程微缩方面，也同样存在于半导体设备与资料厂商。主要是在微缩过程中，对Particle的容忍度越来越低，由Particle产生缺陷(Defect)的机率提升，不论在清洗晶圆的化学药液或制程用水，亦或是光阻剂、CMP研磨液及蚀刻液或气体等，请求的质量与干净度越来越高。

业界主要的化学品及制程用水过滤滤芯供给美商Entegris与美商Pall，就针对不时微缩的制程持续开发新型过滤滤芯，不只在滤膜外表的孔洞微缩至1nm水平，也持续研讨各种化学吸附或离子交流膜等方式优化过滤效果，对应不同品种的化学药液与制程用水的过滤需求。

另外，在先进制程中扮演重要角色的EUV光刻机供给商ASML，除了现有主要厂商采用的EUV光刻机NXE:3400B外，也估计2019下半年出货下一世代的EUV光刻机－NXE:3400C，具有更高的NA(数值孔径)值提升分辨率，以及更快的Throughput(单位时间晶圆处置量，WPH)，能进一步提升EUV在显影表现与晶圆处置效率，是先进制程开展不可或缺的重要设备。

值得一提的是，有鉴于台积电在先进制程方面成为业界指导厂商，除了确保将来先进制程对设备与资料的需求外，也让有意进入先进制程的设备与资料厂商，以台积电的认证为首要目的。

而就台积电规格请求来看，即使供给链厂商技术到位，仍需不时依据制程需求做更新，包括机台改造与高规格资料的导入，才干在先进制程开展下保有各自的产品竞争力。      关注电子行业精彩资讯，关注亿配芯城官方微信，精华内容抢鲜读。      关注方法：添加好友→搜索“亿配芯YiBEiiC”→关注      或微信“扫一扫”二维码                              亿配芯城（WWW.YiBEiiC.COM)隶属于深圳市新嘉盛工贸有限公司，成立于2013年并上线服务，商城平台主要特点“线上快捷交易配单+线下实体供应交货”两全其美的垂直发展理念，是国内电子元器件专业的电子商务平台+实体店企业。未来发展及模式主要以（一站式配单，平台寄售/处理闲置库存达到资源共享双赢，电子工程师交流社区，硬件开发与支持等互动服务平台）在这个高效而发展迅猛的科技互联网时代为大家提供精准的大数据资源平台。

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